Center Smart Materials and Adaptive Systems CeSMADie Untersuchung von Materialoberflächen und dünnen Schichten ist für viele Anwendungen von zentraler Bedeutung. Als Erweiterung der Spektralellipsometrie hat die ellipsometrische Porosimetrie (EP) für die Charakterisierung poröser Schichten erheblich an Bedeutung gewonnen.
Die in-situ-Messung der Sorption ermöglicht die Bewertung der offenen Porosität, der Porenradiusverteilung, des Brechungsindex des Filmrückgrats und sogar der elastischen Eigenschaften. Mehrschichtstrukturen und Gradienten innerhalb von Filmen können gemessen werden. Diese Eigenschaften sind besonders interessant für von Sol-Gel abgeleitete dünne Filme, die nach der thermischen Behandlung oft eine Restporosität behalten.
Gemessene Größen der ellipsometrischen Porosimetrie bei der Charakterisierung von porösen Schichten:
